微細加工技術雜志收錄論文類型主要包括：綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術等。
雜志論文要求：
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3、著錄的參考文獻應準確無誤，其內容及順序是：專著——序號、著（譯）者、書名、卷次、出版社、出版年；期刊一一序號、作者、篇名、刊名、年份、卷期；報紙——序號、作者、篇名、報紙名、年月日、版頁。
4、關鍵詞一般3~8個，要規范，必須是名詞或名詞性詞組，所有關鍵詞要便于檢索和索引。
5、文末一定要標明作者單位及聯系地址、郵編、電話、傳真、電子郵箱、QQ等，方便雜志出刊后寄送。
微細加工技術雜志是由信息產業部主管，中國電子科技集團公司第48研究所主辦的統計源期刊，影響因子為：0.19。順應社會的發展，雜志獲得了多項榮譽：Caj-cd規范獲獎期刊、北大圖書館收錄期刊等。
雜志往期論文摘錄展示
電子束環氧基負膠的曝光反應機理分析
環境因素對微納加工中精確定位影響的研究
電子束直寫中X射線光刻掩模的熱形變研究
飛秒激光應用于合金材料微細加工的試驗研究
光刻機試驗運動裝置振動信號的時頻分析
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